11月9日，2022激光行業榮格技術創新獎頒獎典禮在上海隆重舉行。德龍激光Mini/Micro LED激光蝕刻設備、砷化鎵晶圓激光切割設備榮獲2022激光加工行業榮格技術創新獎！與此同時，德龍激光子公司貝林激光也憑借100W皮秒紅外激光器（Amber NX IR-100S）榮獲此項殊榮！德龍激光及子公司貝林激光將持續堅持創新驅動力，為行業提供更加高效、穩定的行業解決方案。

頒獎典禮現場

 Mini/Micro LED激光刻蝕設備

▲設備型號：LPE系列

■ 研發背景

超過100寸的Mini LED電視墻產品，以其優秀的視覺感染力，迅速博得了顯示制造領域的高度關注。面板制造龍頭們快速布局以玻璃基為載體的Mini LED直顯產品的研發。德龍激光作為激光精細微加工設備制造商，積極的布局Mini LED制程中用到的激光加工設備，推出了Mini/Micro LED激光蝕刻設備，切實滿足了客戶新制程的需求，為國內Mini LED直顯產品研發做出了積極的貢獻。

■ 設備優勢

自主研發飛秒激光蝕刻工藝，實現了Mini/Micro LED產品玻璃三面線路蝕刻后拼接超高精度，同時該設備具備自動AOI檢測功能，提高了產品生產良率。該產品推出后，迅速得到了國內大廠客戶的認可，加快了Mini/Micro LED大尺寸直顯產品快速產業化步伐。

■ 應用領域

主要應用于Mini/Micro LED直顯領域

砷化鎵晶圓激光切割設備 

▲設備型號:Inducer-5361

■ 研發背景

砷化鎵作為一種重要的半導體材料，可以用來制作集成電路襯底、紅外探測器等。用砷化鎵制成的半導體器件具有高頻、高溫、低溫性能好、噪聲小、抗輻射能力強等優點。德龍激光積極布局相關領域，推出激光應力誘導切割方案成功，實現高效高品質切割。

■ 設備優勢

本設備利用超短脈沖激光實現砷化鎵晶圓高質量，高效率的切割加工

切割速度快，切割效果好，良率高，無需濕法清洗處理提供整套的裂片和擴片設備，完整的解決方案工藝成熟，可針對不同類型的砷化鎵圓進行切割

■ 應用領域

各類微波射頻功率放大器等砷化鎵晶圓的切割各類光電類砷化鎵晶圓的切割

■ 設備參數

    加工對象：砷化鎵晶圓激光

    種類：脈沖式激光器

    切割線寬：＜3μm

    崩邊效果：＜10μm

    切割厚度：80μm-500μm

    切割速度：800mm/s

    加工尺寸：6寸（可升級至8寸）

100W皮秒紅外激光器（Amber NX IR-100S）

■ 研發背景

目前高功率皮秒紅外激光器，已經在玻璃、陶瓷、藍寶石等硬脆材料切割鉆孔領域取得了廣泛的應用，其中用于玻璃切割的皮秒激光器使用量越來越多，滿足從<1mm到>10mm厚度玻璃加工。對于厚玻璃的切割（>5mm），采用激光加工可以克服傳統的刀輪切割方法存在切割效率低，成本高，無法實現異形切割等問題，但是厚玻璃切割對于激光器參數提出了更高的要求，為了滿足加工效率的提升和加工玻璃厚度的增加，需要使用更高平均功率的激光器，同時具備mJ級高脈沖能量輸出。貝林激光開發100W紅外皮秒激光器，實現2mJ脈沖能量輸出。

■ 產品特點

貝林激光100W皮秒紅外激光器采用皮秒光纖種子源配合自由空間固體放大器實現高功率皮秒激光輸出。激光器集成高性能光纖種子源，性能穩定，輸出參數靈活，使用壽命>40000小時。采用固體多級放大器技術，保證高峰值功率激光輸出，實現紅外平均功率大于100W，激光器脈沖能量>2mJ，輸出脈沖寬度<10ps，光束質量M^2<1.3。激光器采用一體機設計方案，體積緊湊，全新升級的控制系統，運行更加穩定兼具多種控制功能

榮格技術創新獎自2006年成功舉辦以來，以其公正、客觀的評選流程倍受業界廣泛關注，是中國最具國際性和專業性的工業行業技術創新獎，旨在表彰在業界具有突出貢獻的創新產品和技術。

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